高度技術研究所技術シーズ

高度技術研究所の開発中、あるいは保有している技術シーズの例をご覧ください。

1.高度技術研究所開発テーマ関連の論文等紹介

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2.ウエハ汚染粒子等検査装置

ウエハ汚染粒子等検査装置説明ページへのリンク

本装置は、ウエハー基板、液晶ディスプレイ用透明ガラス、SAWフィルタ用の半透明基板などの、被検査物表面上の異物・表面を高精度に高速検査する装置です。従来技術では検査が困難で時間のかかった基板や、裏面の荒れた基板上の汚染粒子・異物や微細領域の表面の凹凸、スクラッチ等の欠陥を、大視野で瞬時にそれらを識別し、その位置を特定することを可能にしました。

3.その他の技術シーズ

その他の技術シーズの例については、以下の表を参照してください。

保有技術及び開発中の技術シーズ一覧表
技術シーズ 進捗状況 特徴
微粒子(形状、サイズ)実時間検査装置 デモ機開発準備中 複数形状・サイズの同時識別、大視野光速度並列識別(国内外類例なし)
ナノ粒子群の大視野迅速検査装置 受注活動中 大視野高速検査(国内外類例なし)
部品等欠陥迅速同時検査装置 Software完成デモ機作成中 画像の高速並列処理識別
Virgin基板欠陥検査装置 デモ機作成準備中 大視野高速検査
微量ガス漏れ検査装置 デモ機作成中 簡便、迅速検査
インテリジェントなロボットの眼 基礎実験終了装置開発実験中 光アナログ識別、画像並列識別(国内外類例なし)
液晶ガラス欠陥検査装置 検証実験 大視野検査、拡大不要(国内外類例なし)

5.技術マップ

弊社の事業内容は、高度技術の研究開発及びコンサルタント業務、シンクタンク、新技術の開発と製品の製造・販売などです。研究領域・保有技術の概要を以下の図に示します。

技術マップの図