高度技術研究所の開発中、あるいは保有している技術シーズの例をご覧ください。
本装置は、ウエハー基板、液晶ディスプレイ用透明ガラス、SAWフィルタ用の半透明基板などの、被検査物表面上の異物・表面を高精度に高速検査する装置です。従来技術では検査が困難で時間のかかった基板や、裏面の荒れた基板上の汚染粒子・異物や微細領域の表面の凹凸、スクラッチ等の欠陥を、大視野で瞬時にそれらを識別し、その位置を特定することを可能にしました。
その他の技術シーズの例については、以下の表を参照してください。
技術シーズ | 進捗状況 | 特徴 |
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微粒子(形状、サイズ)実時間検査装置 | デモ機開発準備中 | 複数形状・サイズの同時識別、大視野光速度並列識別(国内外類例なし) |
ナノ粒子群の大視野迅速検査装置 | 受注活動中 | 大視野高速検査(国内外類例なし) |
部品等欠陥迅速同時検査装置 | Software完成デモ機作成中 | 画像の高速並列処理識別 |
Virgin基板欠陥検査装置 | デモ機作成準備中 | 大視野高速検査 |
微量ガス漏れ検査装置 | デモ機作成中 | 簡便、迅速検査 |
インテリジェントなロボットの眼 | 基礎実験終了装置開発実験中 | 光アナログ識別、画像並列識別(国内外類例なし) |
液晶ガラス欠陥検査装置 | 検証実験 | 大視野検査、拡大不要(国内外類例なし) |
弊社の事業内容は、高度技術の研究開発及びコンサルタント業務、シンクタンク、新技術の開発と製品の製造・販売などです。研究領域・保有技術の概要を以下の図に示します。